半导体行业--气浮平台

针对半导体行业的需求，开发精度(纳米级别)的气浮运动平台。

作为半导体设备的主要载体，精度在纳米级别的精度运动平台在半导体行业起着十分关键的作用。受限于线性导轨的特性，纳米级别的精度运动平台一般都采用了气浮的方案，再加上直线电机和激光尺反馈等元件，实现了纳米级别的定位精度。

针对半导体设备的需求，已研发出精密的气浮直线电机运动平台，目前已交付的气浮平台大幅面为3700X2650mm，重复定位精度0.5um，定位精度1um，直线度3um，气膜厚度8um。